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正文 第520章 昆仑之芯流片
    1968年1月1日,元旦。

    

    天还没亮,吕辰就醒了,今天是个大日子。

    

    他轻轻掀开被子,怕吵醒旁边的小吕晓。

    

    小家伙蜷在娄晓娥怀里,小手攥着她的衣领,呼吸均匀,小脸红扑扑的。

    

    吕辰看了两秒,把被子掖好,光着脚踩在地上,冰得他一个激灵,彻底清醒了。

    

    披上衣服,来到正堂,炉火还旺着,铝壶坐在上面,壶嘴冒着白气,嘶嘶地响。

    

    他往炉膛里添了两块煤,又拨了拨火,火苗蹿起来,映得满屋通红。

    

    他拎起铝壶,把热水倒进脸盆里,又从另一个壶里倒了凉水兑上,伸手试了试水温,刚好。

    

    端着水来到卧室,放在娄晓娥的妆台上。

    

    从墙上取下剃刀,上海来的刀片,钢口好,用了两年还锋利。

    

    刀柄是黑色的塑料,磨得发亮,握在手心里沉甸甸的。

    

    吕辰对着墙上的镜子,先用热毛巾敷了敷脸,然后抹上肥皂,白色的泡沫涂了满脸,只露出两只眼睛。

    

    他深吸一口气,握着剃刀,从腮帮子开始,一刀一刀地刮。

    

    刀刃贴着皮肤滑过去,发出细微的沙沙声,像春蚕吃桑叶。

    

    他的手法很慢,很稳,每一刀都刮得干干净净。

    

    “我来。”

    

    不知何时,娄晓娥已经起床来到他身后。

    

    吕辰愣了一下,把剃刀递给娄晓娥,微微仰起下巴。

    

    娄晓娥的手指很稳,比他还稳。

    

    刀刃在他下巴上轻轻滑过,一下,两下,三下,干净利落。

    

    她用手指摸了摸刮过的地方,光滑得像刚抛过光的硅片。

    

    “行了。”她把剃刀放回架子上,用毛巾帮他擦掉脸上残留的肥皂沫。

    

    吕辰对着镜子看了看,脸颊泛青,下巴干干净净,精神了不少。

    

    他转过身,搂住娄晓娥的腰,在她额头上亲了一下。

    

    娄晓娥推了他一把:“晓晓看着呢。”

    

    小吕晓不知道什么时候醒了,正坐在被窝里,揉着眼睛,一脸茫然地看着父母。

    

    吕辰走过去,一把把他捞起来,举过头顶。

    

    小家伙立刻笑了,露出两颗小米牙,咯咯地笑出声来。

    

    “爸爸今天要去办大事。”吕辰把他放下来,用被子把他裹好,“晓晓在家乖乖的。”

    

    小吕晓听不懂,但笑得更开心了。

    

    娄晓娥从柜子里拿出一套新衣服。

    

    藏蓝色的中山装,嫂子上个月刚做好的,纯毛哔叽料子,摸上去厚实挺括。

    

    领口处绣着一个暗纹的“辰”字,不仔细看根本看不出来,但那是陈雪茹的坚持,他们家的衣服,每一件都有这种记号。

    

    “今天穿新的。”娄晓娥把衣服抖开,帮他穿上。

    

    吕辰张开双臂,像个木偶一样任她摆布。

    

    娄晓娥先把里头的棉袄穿好,又套上中山装,然后一颗一颗地扣扣子。

    

    扣子是黑色的塑料扣,每一颗都扣得严严实实。

    

    她扣到最上面那颗的时候,手指停了一下,把领口翻好,又退后一步,上下打量了一遍。

    

    “肩膀这里稍微有点紧。”她用手按了按他的肩头,“嫂子做得太贴身了,你里面还套着棉袄呢。”

    

    “不紧,刚好。”吕辰活动了一下肩膀,“穿厚了才暖和。”

    

    娄晓娥又从柜子里拿出一件军绿色的大棉袄。

    

    这是厂里发的,加厚版,外面是咔叽布,里面絮的是新棉花,厚实得像一床被子。

    

    她把棉袄披在吕辰肩上,又帮他把袖子套进去,然后退后一步,又看了一遍。

    

    中山装外面套大棉袄,怎么看都有点不伦不类。

    

    但吕辰不在乎,暖和就行。

    

    “围巾。”娄晓娥从衣架上取下一条灰色的毛线围巾,在吕辰脖子上绕了两圈,又在他胸前打了个结。

    

    “手套。”她把棉手套塞进他的棉袄兜里。

    

    “帽子。”她把一顶栽绒帽子扣在他头上,把两边的护耳拉下来,系好带子。

    

    吕辰站在镜子前,看着自己被包裹得像一个粽子,忍不住笑了:“你这是要把我包成饺子?”

    

    娄晓娥没笑,她看着镜子里的他,目光很认真。

    

    “今天是大日子,”她说,“不仅要精神,更不能冻着。”

    

    吕辰转过身,他把她的手捂在自己的手心里,搓了搓,又放在嘴边哈了一口气。

    

    “晚上早点回来。”娄晓娥说,“我和婶儿今天包饺子。”

    

    “好。”

    

    吕辰松开手,走到床边,弯下腰,在小吕晓脸上亲了一口。

    

    小家伙伸手抓住他的鼻子,不肯放,咯咯地笑。

    

    吕辰轻轻掰开他的手指,又亲了一口,然后直起身,拎起帆布包,推门出去。

    

    厨房里,陈婶已经在忙活了。

    

    灶台上的大锅咕嘟咕嘟地冒着热气,小米粥的香味弥漫在整个屋子里。

    

    案板上放着几碟小菜,腌萝卜、咸鸭蛋、腐乳,还有一碟花生米。

    

    “婶儿,早。”吕辰走到灶台前,自己盛了一碗粥,三口两口喝完,又拿了一个馒头,掰开,夹了两块腐乳,合上,揣进棉袄兜里。

    

    “小辰,再拿个鸡蛋。”陈婶捞出一个煮鸡蛋,冷水里滚一圈,用纱布擦了擦,递给吕辰。

    

    “谢婶儿,正好路上暖手。”这是吕辰家的秘决,冬天早上拿个热鸡蛋,放兜里,就能持续释放热力,到了单位再吃,一举两得。

    

    辞别陈婶,吕辰把围巾紧了紧,推上车,走出了院子。

    

    天还没大亮,东边的天际透着一线鱼肚白,巷子里的雪扫过了,但一夜过去又落了薄薄一层,踩上去咯吱咯吱响。

    

    吴奶奶家的烟囱冒着烟,赵奶奶家的灯也亮了,远处传来零星的自行车铃声,清脆地在晨风中回荡。

    

    他反手把门带上,跨上车,蹬了起来。

    

    晨风从耳边掠过,冷得像刀子,但棉袄厚实,围巾裹得严实,只有鼻尖冻得发红。

    

    车轮碾过积雪,发出细碎的声响。

    

    今天是昆仑1芯片第一版设计完成的日子。

    

    不是1颗,是12颗。

    

    从1966年4月昆仑工程立项,到现在,整整20个月。

    

    20个月里,理论组在算指令集,设计组在画逻辑图,光刻组在攻关工艺,存储组在研究磁芯和半导体存储,机械组在加工精密零件,计量组在研制光栅尺和时钟源。

    

    而集成电路实验室第四、第五、第九小组,整整90个人,把这12颗芯片,从无到有,一颗一颗地设计了出来。

    

    吕辰来到办公室,刚把包放下,身后就传来敲门声。

    

    “进来。”

    

    诸葛彪推门进来,手里拿着一沓厚厚的图纸,脸上带着一种说不上来的表情,像是兴奋,又像是如释重负。

    

    “国华他们把全部仿真走完了。”他把图纸往桌上一摊,“最后一颗,KL-PWR,电源管理芯片,所有测试向量全部通过。”

    

    吕辰转过身,走到桌前,低头看着那张图纸。

    

    那是一张KL-PWR的版图,A0大小,硫酸纸,墨线描得工工整整。

    

    芯片内部的功能模块排布得整整齐齐,电压监测单元、上电时序控制单元、过压保护单元、欠压锁定单元,每一个模块的边界都标得清清楚楚。

    

    图纸的右下角,签着设计者的名字和日期,旁边盖着“仿真通过”的红章。

    

    “12颗,齐了。”诸葛彪点了一根烟,吸了一口,慢慢吐出来,“两年了。”

    

    吕辰手指在那张图纸上轻轻摩挲了一下。

    

    他想起昆仑工程立项的时候,宋颜教授在黑板上画的那张架构图。

    

    一控、七算、双核,为些芯片,当时还是KL-1和KL-PE01~07这样简单的命名。

    

    如今,二十个月过去,第一版设计完成,又增加了存储、I/O、中断、总线、时钟、诊断、电源等。

    

    整整十二个模块,十二类芯片,命名也完全不一样了。

    

    “宋教授那边怎么说?”吕辰抬起头。

    

    “他们已经到了6305厂。”诸葛彪弹了弹烟灰,“夏先生、钱先生、王先生,今天都到。各家协作单位的代表,也都到了。”

    

    吕辰看了一眼墙上的挂钟,七点二十。

    

    “走吧。”

    

    两人出了办公室,下楼,推着自行车出了厂门。

    

    街上已经有了早行的行人,骑车的、走路的、赶着马车的,在雪地里留下深深浅浅的印子。

    

    到了6305厂,门口已经停满了车。

    

    吉普、伏尔加、军用卡车,把厂门口的停车场塞得满满当当。

    

    卫兵比平时多了两倍,荷枪实弹,表情严肃。

    

    吕辰二人掏出工作证,卫兵仔细核对了两遍,又翻了翻登记簿,才挥手放行。

    

    两人把车停在厂办楼下,正往里走,陈光远从厂办出来,身后跟着刘高工和胡教授。

    

    “陈厂长、刘工、胡教授。”吕辰二人迎上去。

    

    陈光远脸上带笑,但眼神很严肃:“小吕、诸葛,走吧,先去制造中心,夏先生他们已经到了。”

    

    一行人往里走。

    

    新产线巨大的车间在晨光中矗立着,阳光从东边照过来,打在那些竖窗上,反射出耀眼的光芒。

    

    制造中心门口已经站了一群人。

    

    刘星海教授站在最前面,手里拿着一个黑皮本子,正跟旁边的夏先生低声说着什么。

    

    夏先生穿着一件藏蓝色的中山装,领口的扣子系得整整齐齐,头发梳得一丝不苟,花白的鬓角在晨光中泛着银光。

    

    钱先生站在夏先生旁边,手里夹着一支烟,正跟王先生说话。

    

    王先生是从长春赶来的,昨天晚上才到京城,坐了整整一天的火车。

    

    宋颜教授站在刘星海身后,旁边是吴国华、钱兰、谢凯,还有集成电路实验室几个组的组长。

    

    另一边是6305厂书记丘岩、厂长李怀德,以及各中心负责人。

    

    各家在京协作单位的代表也到了,理论组的、计算机所的、真空所的、半导所的、物理所的、数学所的、计量所的……,二十几个人,三三两两站在门口,小声说着什么。

    

    “人都到齐了。”李怀德走到刘星海跟前,“刘教授,开始吧?”

    

    刘星海看了看表,八点二十。

    

    “再等等。”他说,“还有一个人没到。”

    

    话音刚落,一辆草绿色的吉普车从厂门口开进来,在制造中心门口停下。

    

    车门打开,一个穿着军装的老人走下来。

    

    肩章上的星星在晨光中闪着光,腰板挺得笔直,步伐不快不慢。

    

    “首长。”刘星海教授迎上去。

    

    首长摆摆手,在台阶上站定,抬头看了看制造中心那巨大的建筑,又低头看了看表。

    

    “开始吧。”

    

    所有人换好洁净服,经过风淋通道,进入制造中心。

    

    车间里恒温恒湿,22度,45%的湿度,空气干净得像不存在一样。

    

    地面是防静电的淡绿色环氧自流平,天花板上的日光灯排成整齐的矩阵,把整个车间照得通明。

    

    生产线按照芯片制造的流程依次排开。

    

    光刻区、薄膜区、扩散/离子注入区、金属化区、封装区。

    

    今天要流片的,是十二颗芯片中相对简单的一颗。

    

    这是6305厂2微米新产线的第一次实战,选择了KL-SRAM静态随机存取存储器。

    

    存储芯片的设计相对独立,逻辑不复杂,但存储单元的版图要求极高,六管单元,每一个晶体管的尺寸、位置、间距都要精确到亚微米。

    

    GCA-301CGS光刻机蹲在光刻区的中央,军绿色的外壳,高大的身躯像一个沉默的巨人。

    

    机器旁边已经站好了操作团队,刘高工站在最前面,手里拿着一个文件夹,里面夹着厚厚一沓工艺参数。

    

    郑长枫蹲在机器侧面,手里拿着一个水平仪,正在确认工件台的水平度。

    

    “准备工作。”陈光远走到光刻机前面,转过身看着所有人,“九点整,准时开始。”

    

    刘星海走到首长旁边,低声介绍着生产线的各个工序。

    

    夏先生和钱先生站在光刻机旁边,小声讨论着什么。

    

    王先生蹲在工件台旁边,用手指轻轻敲了敲基座,感受了一下振动,然后站起来,点了点头。

    

    九点整。

    

    陈光远站在光刻机前面,手里拿着一个秒表,看着所有人。

    

    “各岗位,汇报状态。”

    

    “光刻组,准备就绪。光刻胶已涂布,掩模版已装载,工件台已调平。”刘高工的声音在车间里回荡。

    

    “薄膜组,准备就绪。CVD设备预热完成,温度稳定在400度。”

    

    “扩散组,准备就绪。扩散炉恒温区稳定,温度偏差±0.5度。”

    

    “金属化组,准备就绪。溅射台真空度达标,靶材已安装。”

    

    “封装组,准备就绪。划片机、键合机、封装机,全部待命。”

    

    陈光远看向刘星海。

    

    刘星海看向首长。

    

    首长点了点头。

    

    “开始。”陈光远按下秒表。

    

    刘高工走到光刻机前,按下启动键。

    

    机器开始工作。

    

    自动上料机械手从晶圆盒里取出一片六英寸的硅晶圆,通过传送带送到工件台上。

    

    真空吸盘将晶圆牢牢固定。

    

    光电检测系统开始工作,一束激光打在晶圆的对准标记上,反射光被探测器接收,系统计算出晶圆的位置偏差,工件台在脉冲电机的驱动下自动补偿,精度达到±0.1微米。

    

    自动对准完成。

    

    掩模版库中,机械手取出第一层掩模版,光刻胶的掩模版,放到曝光位置。

    

    深紫外光源点亮,汞灯发出的紫外光通过光学系统,穿过掩模版,投影到晶圆表面的光刻胶上。

    

    曝光时间预设,快门打开,紫外光在光刻胶上画出芯片的第一层图案。

    

    快门关闭。

    

    工件台移动到下一个曝光位置。

    

    重复。

    

    一片晶圆上,176颗芯片,176次曝光,全部自动完成。

    

    GCA-301CGS自动运行着,指示灯一排一排地亮着,机械手在晶圆盒和工件台之间来回穿梭,曝光头在晶圆上方移动,发出轻微的“咔嗒”声。

    

    整个流程,行云流水。
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